中华人民共和国国家标准
Code for construction and acceptance of cleanroom
主编部门:中华人民共和国住房和城乡建设部
批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部
施行日期:2 0 1 1 年 2 月 1 日
中华人民共和国住房和城乡建设部
公 告
第681号
关于发布国家标准《洁净室施工及验收规范》的公告
现批准《洁净室施工及验收规范》为国家标准,编号为GB 50591-2010,自2011年2月1日起实施。其中,第4.6.11、5.5.6、5.5.7、5.5.8、5.6.7、6.3.7、6.4.1、11.4.3条为强制性条文,必须严格执行。原《洁净室施工及验收规范》JGJ 71-90同时废止。
本规范由我部标准定额研究所组织中国建筑工业出版社出版发行。
中华人民共和国住房和城乡建设部
2010年7月15日
前言
根据原建设部《关于印发<2006年工程建设标准规范制订、修订计划(第一批)>的通知》(建标[2006]77号)的要求,本规范由中国建筑科学研究院会同国内有关科研、高校、设计、施工等单位共同编制。
在规范编制过程中,编制组经广泛调查研究,多方征求意见,并收集整理国内外在洁净室施工验收方面的标准和相关资料,认真总结《洁净室施工及验收规范》JGJ 71—90实施以来在洁净室施工及验收方面的经验教训,对其中一些主要内容和指标进行了研究、实验和论证,最后经审查定稿。
本规范共分17章和8个附录。主要内容有:总则、术语、建筑结构、建筑装饰、风系统、气体系统、水系统、化学物料供应系统、配电系统、自动控制系统、设备安装、消防系统、屏蔽设施、防静电设施、施工组织与管理、工程检验和验收。
本规范中用黑体字标志的条文为强制性条文,必须严格执行。
本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释,中国建筑科学研究院负责具体技术内容的解释。
本规范在执行过程中,请各单位注意总结经验,积累资料,随时将有关意见和建议反馈给中国建筑科学研究院空气调节研究所(地址:北京北三环东路30号,邮编:100013),以便今后修订时参考。
本规范主编单位、参编单位、主要起草人和主要审查人员:
主编单位:中国建筑科学研究院
参编单位:中国电子工程设计院 中国航天建筑设计研究院(集团) 北京航天爱锐科技有限责任公司 北京昌平长城空气净化设备工程公司 中国中元国际工程公司 中国建筑技术集团有限公司 鑫吉海医疗工程有限公司 上海同济大学机械工程学院 美施威尔(上海)有限公司 上海市安装工程有限公司 上海开纯洁净室技术工程有限公司 上海美和医疗工程有限公司 山武环境工程(上海)有限公司 上海奥星洁净室系统工程有限公司 上海吉威电子系统工程有限公司 上海北亚洁净工程有限公司 苏州工业园区迈柯唯医用洁净工程有限公司 江苏久信医用净化工程有限公司 江苏中卫九洲医用工程有限公司 苏州净化空调系统设备安装有限公司 西安市四腾工程有限公司 信息产业电子第十一设计研究责任有限公司 广东申菱净化工程有限公司 优力(珠海)电器制造有限公司 深圳市境洁达实业有限公司 华屹原空气技术工程(深圳)有限公司 深圳市先宇科技有限公司 深圳市尚荣医疗股份有限公司 深圳市艺能净化设备有限公司 公安部天津消防研究所 天津市津航净化空调工程公司 天津开发区丰达净化制冷工程有限公司 天津市春信制冷净化设备有限公司 天津市洁净空调设备有限公司 思颐科技(上海)有限公司 江苏姑苏净化科技有限公司
主要起草人:许钟麟 张益昭 张彦国 黄星元 张洪雁 单泽青 朱建国 刘小虎 牛维乐 田海滨 沈晋明 汤 莉 何广钊 汪亚兵 韦后广 顾 淞 马 骏 骆志辉 王啸波 许德广 马兆勇 程桂鹏 蒋乃军 白浩强 王维国 欧燕川 王晓军 姚光普 章彬青 张正光 朱 辉 陈振洪 路世昌 樊宝仁 张智勇 李秋实 王福森 朱石泉 章红权 主要审查人员:吴元炜 范存养 涂光备 邢松年 叶 鸣 徐士乔 马伟骏 冯旭东 项志宏 严建敏 陈 尹 郭大荣 金 真 张吉银 温 风
条文说明制订说明
制订本规范遵循的主要原则是:立足国情,接轨国际;硬软兼备,重物重人;技术先进,论据合理;过程控制,切实可行。从而实现科学性、先进性、协调性和可操作性。
规范编制启动会于2006年12月26日在北京召开。在22个月的时间里,开了5次调研座谈会,聘请了20多位专家、基建负责人等作为顾问,开了两次座谈会。组织40余人次,针对重点或难点开展了9项专题实验和研究,完成了9篇报告或论文:①关于最小采样量问题的探讨;②关于洁净室的占用状态定义的探讨;③漆膜和密封胶耐霉菌的实验研究;④洁净室地面施工含水率对铺设聚合地板的影响;⑤关于高效过滤器大气尘检漏浓度的研究;⑥风管系统漏风率检测实验方法研究;⑦洁净室高效空气过滤器现场检漏方法的实验研究;⑧洁净室气密性检测方法研究;⑨高效过滤器现场大气尘检漏方法的理论探讨。
编制组进行了广泛的收集、查阅资料工作,若干参编单位提供了本单位的标准、操作规程或具体技术资料。编制组对ISO系列标准、欧盟与WHO的GMP、美国FDA手册、美国微电子污染控制手册、美国制药工程指南、瑞士加拿大等国家的兽药生物安全设施手册以及国内关于微振、噪声、防静电、施工安装等文献、手册和国内39项标准规范,进行了认真的研究,获得了丰富的信息,提取了对规范有用的材料,直接引用的国内外标准达30项。
2007年11月应“台湾中华洁净学会”和相关企业的邀请,组织编制组部分成员共30人进行了为期10天的考察,举办了座谈会、报告会,参观了净化工厂,同时进行了海峡两岸关于洁净室施工安装的技术交流。
在各参编单位积极按分工计划完成了有关章或节的草稿基础上,于2008年3月底完成规范的第一轮草稿。经过4次讨论会和草稿定稿会,于2008年7月底草稿定稿,又经过主编单位多次组织技术人员讨论,于2008年8月完成征求意见稿。按照程序,征求意见稿已上网广泛征求意见,并专门由电子邮件或逐件发送给近30几位专家和管理人员,定向征求意见,或者进行了面对面交流。回收了20份意见表,征集了166条修改意见,采纳的共114条,占68.7%。
注意到国际上对洁净室的质量保证不仅注重硬件也注重软件即管理,要有关于人员、文件、施工组织的内容,本规范也相应增加了“施工组织与管理”的内容。
为了强调过程控制,不仅有总的检验和验收,还在各章中加“分项验收”一节。
还有一些问题未能得到明确结论,如金属壁板施工中如何避免今后的裂缝、管材管道的清洗如何彻底避免白粉现象、如何从施工角度保证负压洁净室的气密性等等,都需要进一步去实验、研究、总结,也希望国内企业和同行能提供宝贵意见。
1.0.1 为在洁净室及相关受控环境(第3章起简称洁净室)的施工及验收中,贯彻国家有关的方针政策,规范施工要求,统一检验方法,明确验收标准,以保证施工和安装质量,达到节能、节材、节水、保护环境和安全操作的目的,制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建和改建的、整体和装配的、固定和移动的洁净室及相关受控环境的施工及验收。
1.0.3 洁净室及相关受控环境的施工及验收,应符合下列规定:
1 由具有建设主管部门批准的专业资质的施工企业,按批准的文件和图纸施工,施工人员均应经过有关洁净室的施工、验收规范的培训及考核,特殊工种应持有上岗证,并应由具有专业监理资质和经过专业培训的监理机构实行全过程监理。
2 施工前应制定施工组织设计。施工中各工种之间应密切配合,按程序施工。没有图纸、技术要求和施工组织设计的工程项目不应施工。工程施工中需修改设计时应有设计单位的变更文件。对没有竣工图纸的工程项目不应进行性能验收。
3 工程所用的材料、设备、成品、半成品的规格、型号、性能及技术指标均应符合设计和国家现行有关标准的要求,并有齐全合法的质量证明文件。对质量有疑义的,必须进行检验。过期材料不得使用。
4 分部分项工程或工程中的复杂工序施工完毕后,应进行分项验收,分项验收不合格的必须返工直至合格,并记录备案。
1.0.4 本规范应与现行国家标准《建筑工程施工质量验收统一标准》GB 50300配套使用。
洁净室及相关受控环境的施工及验收,除执行本规范外,还应符合国家现行有关标准的规定。
条文说明1.0.1 施工质量固然是本规范要达到的目的,但节能、环保和安全也是不可忽略的。洁净室及相关受控环境是指以洁净室为主体,包括其附属的、辅助的周边用房或局部环境,这些用房或环境将对洁净室性能产生影响,因而也必须受控。
1.0.2 关于洁净室施工及验收规范的名称说明如下:
1 关于本规范的名称问题,因为它是行标《洁净室施工及验收规范》(以下简称“原行标”)的提升,所以仍用原名。
2 最近ISO的洁净室及相关受控环境技术委员会的一系列标准冠名为《洁净室及相关受控环境》,为了简化,本规范没有用此名称,而在条文中说明适用于洁净室及相关受控环境,并在术语中对“洁净室及相关受控环境”作了说明。
3 以控制无生命微粒为主的是工业洁净室,以控制生命微粒为主的是生物洁净室。
生物洁净室用于制药厂时工艺上有无菌药品和非无菌药品之分。所谓非无菌药品是指法定药品标准中未列有菌检查项目,列出要无菌检查的则为无菌药品。无菌药品和非无菌药品分为“非最终灭菌”和“最终灭菌”两类。这两类都要实行微生物控制,都不允许有菌沾染,都要用生物洁净室,只是级别不同,所以从洁净室施工及验收上来说都是一样的。
1.0.3 建设主管部门是指中央或地方一级主管建设的部门,专业资质是指施工专业或其所在大行业的资质(例如机电安装)。
2.0.1 洁净室及相关受控环境 cleanrooms and associated controlled environment
洁净室及其附属的、辅助的、相联系的开放或封闭的内部或周边空间,该空间的悬浮微粒浓度等参数也受到符合相关标准的控制。
2.0.2 单向流洁净室 unidirectional airflow cleanroom
由方向单一、流线平行并且速度均匀稳定的单向流流过房间工作区整个截面的洁净室。
2.0.3 非单向流洁净室 non-unidirectional airflow cleanroom
是指流线不平行、方向不单一、速度不均匀而且有交叉回旋的紊乱气流流过房间工作区整个截面的洁净室。亦称乱流洁净室。
2.0.4 混合流洁净室 mixed airflow cleanroom
同时分别存在单向流和非单向流两种气流流型的洁净室。
2.0.5 微粒 particle
悬浮在空气中的、固态的或液态的、活性的或非活性的物质,其粒径(对本标准而言)在10nm~100μm的范围。
2.0.6 气溶胶 aerosol
在空气中悬浮的微小固体或液体微粒的分散系。
2.0.7 生物气溶胶 bio-aerosol
散布于气态环境中的生物介质。
2.0.8 浮游菌 airborne bacteria
悬浮在空气中的带菌微粒。
2.0.9 沉降菌 scttlemental bacteria
降落在表面上的带菌微粒。
2.0.10 测试用气溶胶 test aerosol
呈气态悬浮的固体或液体的微粒,其粒径分布和浓度已知且受控。
2.0.11 泄漏 leak
空气过滤器系统因完整性不佳或有缺陷所引起的污染物透过,透过的污染物超过下风向浓度预计值。
2.0.12 检漏 leak test
找到过滤器和机组部件泄漏的方法,即使用气溶胶光度计或光学粒子计数器以相互重叠的扫描区域扫描通过测试区。
2.0.13 过滤器安装后泄漏测试 installed filter leakage test
为确认过滤器安装良好所进行的测试。测试时要验证设施没有旁路渗漏,过滤器及过滤器和安装框架间的密封面没有缺陷和泄漏。
2.0.14 静态 at-rest
全部建成且设施齐备,净化空调系统运行正常,现场没有人员。此时生产设备已安装完毕而未运行的洁净室状态;或生产设备停止运行并进行自净达到规定时间后的洁净室状态;或正在按建设方(用户)和施工方商定的方式运行的洁净室状态。是洁净室的三种占用状态(空态、静态、动态)之一。
2.0.15 高纯气体 ultrapure gas
气体成分纯度大于或等于99.9995%,含水量小于5ppm的气体。
2.0.16 纯化水 purity water (去离子水或深度脱盐水)
指温度25℃时,电阻率大于0.1×106Ω·cm的水。
2.0.17 高纯水(注射用水) ultrapure water
指温度25℃时,电阻率大于0.1×106Ω·cm,水中大于或等于0.5μm的尘粒小于300粒/mL,活微生物小于9个/mL的纯水。
2.0.18 大(宏)粒子 macroparticle
当量直径大于5μm的微粒。
2.0.19 超微粒子 ultrafine particle
当量直径小于0.1μm的微粒。
2.0.20 永久气体 permanent gas
临界温度低于-10℃的气体,如空气、氧、氮、氦、甲烷、一氧化碳等。
2.0.21 特种气体 special gas
为满足特定用途的气体,包括单一气体或混合气体。单一气体有259种,其中电子气体115种,有机气体63种,无机气体35种,卤碳素气体29种,同位素气体17种。
2.0.22 医用气体 medical gas
符合医疗相关规定要求,供治疗、诊断、预防等医学方面使用的气体。
2.0.23 洁净气体 clean gas
单位体积所含微粒的数量小于或等于使用此气体的洁净环境洁净度的常用气体。
2.0.24 分子态污染物 airborne molecular contamination,AMC
含在空气中的具有分子量级的污染物,如酸性气体、碱性气体、凝聚性有机物质、用于半导体的掺杂物、高挥发性有机物质和分子级的金属等。
条文说明2.0.14 静态 at-rest
洁净室占用状态在洁净室技术中是一个十分重要的概念,设计、施工及验收均会涉及,对于检测、验收和评价尤其重要,不可回避。但是美国联邦系列标准、欧盟GMP以及ISO国际标准对于洁净室占用状态的定义各有差异,加上翻译问题,使得我国对洁净室占用状态有不同理解,尤其在实际执行过程中出现了许多问题。
美国联邦标准209E对静态的定义是:指已建成、所有施工正在运行,设备安装好并按照用户或承包商的要求处于可运行或正在运行状态,没有操作人员的洁净室(设施)。
IS0 14644—1—1999和IS0 14698—1—2003对静态的定义是:在全部建成、设施齐备的洁净室中,已安装好的生产设备正在按照用户或供应商定好的方式运行,但现场没有人员。
欧盟GMP对静态的定义又是:设施已安装完成并运行,工艺设备已安装完成,但现场没有操作人员的状态。当工作结束后,保持无运行状态自净15min~20min(推荐值)所达到的状态也视为静态。
现从以下几方面作一分析:
1 习惯理解上
“静”态显然不应再“动”,“at rest”’就含有“休息”、“静止”等意思,如果无人而机器在生产运行,就无休息、静止之意,就无“静”的实质。所以我国曾把“空”、“静”、“动”三态译为“交竣”、“停工"、“运行”三种状态是贴切的。
2 从三种占用状态定义的衔接上
空调系统正常运行,工艺生产设备已安装但不运行的状态,在实际的洁净室工程检测中,是一种相当普遍的测试状态。但这种状态在ISO定义中没有得到体现,既不属于定义的静态,也不属于定义的动态,即存在空白,而在209E在静态的定义中将这种占用状态涵盖在内。
3 从实际可能上
除209E和欧盟GMP外,其他基于静态的定义,只能在机械化、自动化、密闭生产的洁净室内找到相应状态:只有机械化、无自动化,则不能无人;有机械化、自动化而非密闭生产则生产的工艺尘怎样算?这种状态(机械化、自动化、密闭生产)在半导体车间是随处可见的,但在别的洁净室就很难碰到,GMP洁净车间就是一例。
既然ISO是关于洁净室及相关受控环境的标准,则显然不能仅适用于半导体行业,对其他工业洁净室和生物洁净室也应适用。但就拿一般制药车间来说,很多不是密闭生产的或不是全自动化的,若无人,则很难保证设备运行。如果有这样的车间,怎样保证静态?
又如SPF动物房,如果生产设备运行,只能是有动物(如鼠、鸡)在内活动,但无人,这种状态又怎能叫“静态”?再如洁净手术室,只是在做手术时,一切机器才可运转,此时又怎能无人?
再者,对于高度机械化、自动化、密闭生产的洁净室,按ISO定义,其静态和动态就很难区分了,因为就算进去了一两个人,也就检查一下就出来,所以实际只有两种状态了,即空态和静态,或者空态和动态。
4 综合考虑
空态是明确的,可以不谈。先谈动态,动态是正常生产、操作状态,按工艺要求有人的就有人,无人的就无人,定期来人检查的就时而有人时而无人,若规定有人时检测也可以,随机检测也可以,这样一来,ISO的静态实际上是动态,即开工运行状态。
而对于静态,前面已谈过,静就无动,可以有两种情况:1)工艺生产设备未运行,也无人;2)工艺生产设备运行又停止了,人走了,但不能马上就算静态,应该自净一段时间。这就是欧盟GMP的认识。
根据上面分析,本规范将几种定义都予列举,供不同情况采纳。这一点规范组也和ISO标准有关起草人进行沟通,取得了具体情况具体解决的共识。
3.1.1 洁净室结构工程施工前应编制施工组织设计或施工方案,并与洁净室施工配合。
3.1.2 在主体结构未经验收前,不得进行后续工序的施工。
条文说明3.1.1 结构形式是指现浇混凝土结构、装配式混凝土结构、砌体结构、钢结构、既有建筑等。
3.2.1 装配式混凝土结构的洁净室,应在预制构件上按设计图纸预留孔、洞。
3.2.2 有耐压、防渗漏要求洁净室的混凝土施工应按设计要求采用抗渗混凝土,并应制定配合比操作程序,按相关要求先做试块的抗渗试验,浇筑后应分层捣实,加强养护管理。
3.2.3 洁净区内的现浇混凝土剪力墙模板不宜采用拼缝较多的组合钢模板,宜采用大尺寸硬木面层厚型胶合板。
3.2.4 对大面积洁净空间采用的结构模板,应分区设控制点,多级复核。应防止建筑模板受潮起拱。宜采用清水混凝土精细施工,应随捣随抹光,一次性达到建筑设计标高。模板的密封胶填缝与固定应同时进行,不得遗漏。
3.2.5 砌体施工质量控制等级应满足现行国家标准《砌体工程施工质量验收规范》GB 50203第3.0.10条的A级要求。
3.2.6 对分割洁净室相关受控环境的空间成为各自独立密封体到顶的填充墙,墙体(板)与梁、板底的缝隙应填充密实,并应作密封处理。
3.2.7 高大洁净空间内的钢结构施工应严格控制构件的尺寸偏差,对设计不要求留缝的节点,应在钢结构主体验收合格后用密封材料堵严。钢结构表面的防腐、防火涂料不得漏涂。
3.2.8 既有建筑改造为洁净室时,应对原有建筑进行结构验算,并应仔细检查原有结构,对原结构中出现的裂缝或缝隙应采取措施进行加固或密封。
条文说明3.2.2 洁净室中有一类如三、四级生物安全实验室,建成后要求打500Pa负压,满足一定渗漏或降压要求,所以对混凝土的密实性有很高要求。有的国家甚至将盖好的洁净室搁置较长时间再开始装饰安装,目的是充分暴露缺陷加以弥补。混凝土墙的密实主要靠对配制混凝土时严格掌握各组分的配比,精心养护,保证足够的湿度和时间。同时为了确认其密实性,应做成试块进行抗裂试验。
3.2.4 大面积洁净空间的结构模板有用华夫模板的。华夫模板是钢筋混凝土现浇井字梁楼板的一种用环氧材料制作的工具式模板,永久嵌入混凝土结构中(不可脱式),兼做下层吊顶,对标高和平整度要求很高,所有阴阳角均为圆弧。它具有强度高、刚度大、光洁度好、自重轻等优点。华夫楼板是适用于大面积建筑(如电子厂洁净车间)的一种结构形式。
3.2.6 如生物安全实验室这样的洁净室其受控环境——吊顶上空间,也可能受到污染,特别当排风过滤器放在吊顶上面时。为了防止一处吊顶受污染影响其他房间,国外文献就指出填充墙不应到吊顶下为止,而是一直延伸到屋顶,并密封所有接缝。
3.2.8 在既有建筑改造时,往往需要将空调等设备置于顶层,而顶层往往不是承重的,所以必须校核。
3.3.1 结构施工应按分项工程施工工艺规程进行并验收。
3.3.2 结构施工应在地基基础、主体结构、二次结构完成后,进行分项验收。
3.3.3 结构施工分项验收应包括以下主控项目:
1 混凝土结构表面应平整、无裂缝、无麻面、无掉皮、无起沙。
检验方法:观察。
检验数量:全数检查。
2 填充墙应与周围结构严密接触。
检验方法:观察。
检验数量:全数检查。
3 暴露在洁净区内的钢构件表面防腐涂料应进行涂层附着力检测。
检验方法:按照现行国家标准《漆膜附着力测定法》GB 1720或《色漆和清漆、漆膜的划格试验》GB 9286执行。
检验数量:按构件数抽查2%,且不应少于3件,每件测3处。
4 暴露在洁净区内的钢结构防火涂料应抽检粘结强度、抗压强度,并应符合有关钢结构防火涂料应用技术规程的规定。
检验方法:检查复检报告或按现行国家标准《建筑构件防火喷涂材料性能试验方法》GB 9978的规定抽测。
检验数量:查阅全部测试报告或抽测不少于2次。
1'>《洁净室施工及验收规范[附条文说明] 》GB 50591-2010H.4.1 吸附管采样法适用于检测空气中的易挥发和不稳定物质的浓度。
H.4.2 吸附管采样法可采用以下设备和材料:
1 测定设备如图H.4.1所示。
2 气相色谱质谱仪。
3 吸附物质(TenaxTA60/80等,一种多孔状的二苯氧化基聚酯)。
H.4.3 吸附管采样法可按以下步骤进行:
1 测定前的所有准备工作必须在5级洁净环境中进行。
2 气泵流量为3L/h,必须经过校验。采样时间(3~9)h,达到最低检测度为准。
3 采样前后的采样管均必须在(2~8)℃范围内保存和运输,在7d内送到实验室分析。
1 为便于在执行本标准条文时区别对待,对于要求严格程度不同的用词说明如下:
1)表示很严格,非这样做不可的:
正面词采用“必须”;
反面词采用:“严禁”。
2)表示严格,在正常情况下均应这样做的:
正面词采用“应”;
反面词采用:“不应”或“不得”。
3)对表示允许稍有选择,在条件许可时,首先应这样做的:
正面词采用“宜”;
反面词采用:“不宜”。
4)表示有选择,在一定条件下可以这样做的用词采用“可”。
2 条文中指明必须按其他有关标准执行的写法为, “应按……执行”或“应符合……的要求或规定”。
1 《建筑工程施工质量验收统一标准》GB 50300
2 《砌体工程施工质量验收规范》GB 50203
3 《漆膜附着力测定法》GB 1720
4 《色漆和清漆、漆膜的划格试验》GB 9286
5 《建筑构件防火喷涂材料性能试验方法》GB 9978
6 《漆膜耐霉菌测定法》GB 1741
7 《民用建筑工程室内环境污染控制规范》GB 50325
8 《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243
9 《现场设备、工业,管道焊接工程施工及验收规范》GB 50236
10 《银基钎料》GB 10046
11 《磷铜钎料》GB/T 6418
12 《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235
13 《电子级水》GB 11446.1
14 《常用危险化学品的分类及标志》GB 13690
15 《建筑电气工程施工质量验收规范》GB 50303
16 《组合式空调机组》GB/T 1429
17 《生物安全实验室建筑技术规范》GB 50346
18 《高性能屏蔽室屏蔽效能的测试方法》GB 12190
19 《洁净厂房设计规范》GB 50073
20 《尘埃粒子计数器性能试验方法》GB/T 6167
21 《室内空气质量标准》GB/T 18883
22 《公共场所空气中甲醛测定方法》GB/T 18204.26
23 《公共场所空气中氨测定方法》GB/T 18204.25
24 《公共场所空气中臭氧测定方法》GB/T 18204.27
25 《公共场所空气中二氧化碳测定方法》GB/T 18204.24
26 《普通混凝土用砂、石质量及检验方法标准》JGJ 52
27 《通风管道技术规程》JGJ 141
28 《电磁屏蔽室工程施工及验收规范》SJ 31470
29 《防静电地面施工及验收规范》SJ/T 31469
30 ISO标准《洁净室及相关受控环境》1—9(Cleanroom and associated controlled environments-part1—9)
31 《生物安全柜》JG 170
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