中华人民共和国国家标准
电子工业纯水系统安装与验收规范
Code for installation and acceptance of pure water system of electronic industry
GB 51035-2014
主编部门:中华人民共和国工业和信息化部
批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部
施行日期:2015年8月1日
中华人民共和国住房和城乡建设部公告
第590号
住房城乡建设部关于发布国家标准《电子工业纯水系统安装与验收规范》的公告
现批准《电子工业纯水系统安装与验收规范》为国家标准,编号为GB 51035-2014,自2015年8月1日起实施。其中,第3.6.6、3.6.7、4.1.4条为强制性条文,必须严格执行。
本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。
中华人民共和国住房和城乡建设部
2014年12月2日
前言
本规范是根据住房城乡建设部《关于印发<2009年工程建设标准规范制订、修订计划的通知>》(建标[2009]88号)的要求,由工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定额站、中国电子系统工程第二建设有限公司会同有关单位共同编制完成的。
本规范在编制过程中,编制组经广泛调查研究,认真总结实践经验,参考有关国际标准和国外先进标准,并在广泛征求意见的基础上,最后经审查定稿。
本规范共分7章和3个附录,主要技术内容包括:总则、术语及缩略语、设备安装、配管工程、电气工程、系统调试及测试、工程验收等。
本规范以黑体字标志的条文为强制性条文,必须严格执行。
本规范由住房城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释,由工业和信息化部负责日常管理,由中国电子系统工程第二建设有限公司负责具体技术内容的解释。执行过程中如有意见或建议,请寄送中国电子系统工程第二建设有限公司(地址:江苏省无锡市滨湖区蠡溪路888号;邮政编码:214072),以供今后修订时参考。
本规范主编单位、参编单位、主要起草人和主要审查人:
主编单位:工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定额站
中国电子系统工程第二建设有限公司
参编单位:信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
无锡华润微电子有限公司动力系统工程公司
上海汉华水处理工程有限公司
上海科信检测科技有限公司
栗田工业(苏州)水处理有限公司
北京中瑞电子系统工程设计院有限公司
北京北方佳云净水设备有限公司
主要起草人:熊墨臣 施红平 惠文荣 陈思源 田宇鸣 李洪伟 安庆 葛亚洲 赵敬献 陆志强 郁锭 袁朝阳 张国兴 吴建华 薛长立 杜宝强 郑秉孝 肖劲戈 刘宝钢 张建清 王冬
主要审查人:王凌旭 李正男 薛首文 阙祥明 高鹏 张悦 邹秀平 张秉志 周可可 萧铭辰
1 总 则
1.0.1 为了规范电子工业纯水系统安装工程的施工管理,统一工程施工质量的验收,保证工程质量,制定本规范。
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1.0.2 本规范适用于新建、改建、扩建的电子工业纯水系统的安装及验收。
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1.0.3 纯水系统施工应按经批准的施工图、相关的技术标准及合同约定的技术内容进行,施工图修改应有设计单位的设计变更通知书或技术核定签证。
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1.0.4 纯水系统工程安装及验收除应符合本规范的规定外,尚应符合国家现行有关标准的规定。
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2 术语和缩略语
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2.1 术 语
2.1.1 电子工业纯水系统 pure water system of electronic industry
制备电子工业生产所需的纯水、超纯水,由制备设备、管路、电气及相应仪表等组成的系统的总称。
2.1.2 多介质过滤器 multi media filter
在一定的压力作用下,使水通过设备内充填的多层介质,通过介质间的孔隙截留水中的悬浮、絮凝物等杂质的装置。
2.1.3 活性炭过滤器 active carbon filter
活性炭过滤器属于压力式过滤设备,内填比表面积较大、具有物理吸附和化学吸附功能的活性炭,通过利用其综合的吸附作用,去除水中的有机物、余氯、色度和异味等的装置。
2.1.4 反渗透装置 reverse osmosis unit
在外加压力作用下,利用一种半透性薄膜使水分子和其他一些物质从高浓度侧向低浓度侧选择性透过,从而将绝大部分溶解固形物(盐)、有机物、胶体及颗粒等截留去除的膜及组件组成的设备。
2.1.5 电脱盐装置 electrodeionazation
利用电场作用,使得水中的阴、阳离子定向迁移并选择性地通过阴离子交换膜及阳离子交换膜,在阴、阳离子交换膜之间分别形成纯水、浓水隔室,同时利用电解水产生的氢离子与氢氧根离子不断的再生失效的工作层树脂,从而连续去除水中离子而不需要专门再生的除盐装置的统称。
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2.1.6 混床 mixed bed
混床也称混合离子交换塔,是把阴、阳离子交换树脂按一定的比例混合装填在同一设备内,对水中的各种阴、阳离子进行交换、脱除,从而达到制取高纯度的纯水的装置。
2.1.7 紫外线杀菌装置 ultraviolet sterilization
利用波长254nm的紫外线照射,杀灭水中的活菌的装置。
2.1.8 紫外线除总有机碳装置 ultraviolet TOC removal
利用波长185nm的紫外线照射,降解水中的总有机碳(TOC)的装置。
2.1.9 膜脱气装置 membrane degasifier
利用膜分离技术降低水中挥发性溶解物质的装置。
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2.1.10 超滤 ultrafiltration
指在外压作用下,利用非对称性膜去除水中相对分子量6000至500000的高分子物质或胶体的膜分离装置。
2.1.11 电阻率 resistivity
截面积为1cm2,长度为1cm的水柱,在25℃时的电阻值,常用的电阻率单位为MΩ·cm。水的纯度越高,电阻率越大。
2.1.12 颗粒度 particle
单位体积水中,大于或等于某粒径的颗粒的个数。
2.1.13 总有机碳 TOC total organic carbon
水中的有机物质的含量,以有机物中的主要元素——碳的量来表示。
2.1.14 余氯 residual chlorine
指水与氯族消毒剂接触一定时间后,余留在水中的氯。
2.1.15 淤塞指数 silt density index
在标准压力和标准时间周期内,一定体积水样通过一特定微孔膜滤器的阻塞率。通常采用的测算周期为15min,其对应所测得的淤塞指数称为SDI15。
2.2 缩 略 语
ACF——活性炭过滤器(Active carbon filter)
Cl-PVC——洁净硬聚氯乙烯(Clean Polyvinyl Chloride)
EDI——电脱盐装置(Electrodeionazation)
FRP——玻璃钢(Fiberglass-Reinforced Plastics)
MB——混床(Mixed bed)
MDG——膜脱气装置(Membrane degasifier)
MMF——多介质过滤器(Multi media filter)
PFA——可溶性聚四氟乙烯(Polyfluoroalkoxy)
PP——聚丙烯(Polypropylene)
PVC——聚氯乙烯(Polyvinyl Chloride)
PVDF——聚偏二氟乙烯(Polyvinylidene difluoride)
RO——反渗透(Reverse osmosis)
TOC——总有机碳(Total organic carbon)
TOC-UV——紫外线除TOC装置(Ultraviolet TOC removal)
UF——超滤(Ultrafiltration)
UV——紫外线杀菌装置(Ultraviolet sterilization)
3 设备安装
3.1 一般规定
3.1.1 施工现场应有相应的施工管理体系、质量管理体系、质量控制及检验制度,应有经过审批的施工组织设计(施工方案)等技术文件。
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3.1.2 设备安装应按规定的程序进行,相关各专业工序间应进行交接检验,并应形成书面记录,上道工序未经检验合格,不得进行下道工序的施工。
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3.1.3 主要设备的装箱清单、产品质量合格证、性能检测报告及产品说明书等随机文件、附件应齐全,进口设备还应有商检合格的证明文件。设备所有开口应密封良好,到场验收后应形成验收记录。
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3.1.4 设备就位前应对设备基础进行检查验收,设备基础的外形尺寸、坐标位置、标高、平整度应符合设计要求。
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3.1.5 设备安装前,设备基础的环氧涂层、FRP涂层或涂层的底层应施工完成,并应达到养护期。
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3.1.6 设备的搬运及吊装应符合产品的相关规定,并应对设备做好有效的保护措施。
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3.1.7 设备开口的密封,在进行接口配管前不得打开。
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3.1.8 设备就位后,应有明确的标识,注明设备的状况及注意事项,设备的易碎部位应采用软体物品包裹保护。
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3.1.9 紫外线杀菌装置及紫外线除TOC装置的进、出口应安装不锈钢材质的L型或S型管路。
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3.1.10 电子工业纯水系统的设备安装除应符合本规范的规定外,还应符合现行国家标准《机械设备安装工程施工及验收通用规范》GB 50231的有关规定。
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3.2 非金属设备安装
3.2.1 本节适用于电子工业纯水系统中采用玻璃钢材料及其他塑性材料制作的水箱、塔、槽的安装及质量验收。
3.2.2 非金属设备吊装、安装时,不应采用铁制工具敲打设备本体。
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Ⅰ 主控项目
3.2.3 设备的型号、规格、数量、质量应符合设计技术文件的要求。
检查数量:全数检查。
检查方法:依据设计文件核对、观察检查,检查设备质量合格证明文件。
3.2.4 设备基础的位置、尺寸、平整度应符合设计要求。
检查数量:全数检查。
检查方法:依据设计文件核对,检查基础施工记录,卷尺检测及目测。
3.2.5 玻璃钢材料及其他塑性材料制作的水箱、塔、槽、内衬PVDF的水箱在固定安装后,外表不得有开裂、变形、破损、内衬PVDF脱离的现象。
检查数量:全数检查。
检查方法:观察检查。
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3.2.6 设备安装时,平底设备底部宜垫厚度大于或等于5mm的橡胶板或50mm厚细砂,当垫细砂时,应在设备基础周边设置固砂堤。
检查数量:全数检查。
检查方法:依据设计文件核对,卷尺检测及目测。
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3.2.7 非承压水箱应做满水试验,满水试验时间不应少于24h。
检查数量:全数检查。
检查方法:满水试验,观察检查是否有渗漏及变形。
Ⅱ 一般项目
3.2.8 设备安装到位后,应采用膨胀螺栓或化学锚栓固定,并应采用双螺母锁定,但与设备接触的螺母不宜拧得过紧。
检查数量:全数检查。
检查方法:观察检查。
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3.2.9 设备固定完成后,底部垫橡胶板的设备与基础地面的缝隙处应采用密封胶等柔性材料填实。
检查数量:全数检查。
检查方法:观察检查。
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3.2.10 非金属设备安装的允许偏差应符合表3.2.10的规定。
检查数量:全数检查。
检查方法:应符合表3.2.10的规定。
表3.2.10 非金属设备安装的允许偏差及检查方法
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3.2.11 设备的附件应齐全,安装应牢固且符合设计要求。
检查数量:全数检查。
检查方法:依据设计文件核对,观察检查。
'>《电子工业纯水系统安装与验收规范[附条文说明]》GB 51035-2014本规范用词说明
1 为便于在执行本规范条文时区别对待,对要求严格程度不同的用词说明如下:
1)表示很严格,非这样做不可的:
正面词采用“必须”,反面词采用“严禁”;
2)表示严格,在正常情况下均应这样做的:
正面词采用“应”,反面词采用“不应”或“不得”;
3)表示允许稍有选择,在条件许可时首先应这样做的:
正面词采用“宜”,反面词采用“不宜”;
4)表示有选择,在一定条件下可以这样做的,采用“可”。
2 条文中指明应按其他有关标准执行的写法为:“应符合……的规定”或“应按……执行”。
引用标准名录
《电气装置安装工程电缆线路施工及验收规范》GB 50168
《工业金属管道工程施工质量验收规范》GB 50184
《钢结构工程施工质量验收规范》GB 50205
《机械设备安装工程施工及验收通用规范》GB 50231
《工业金属管道工程施工规范》GB 50235
《建筑工程施工质量验收统一标准》GB 50300
《建筑电气工程施工质量验收规范》GB 50303
《特种气体系统工程技术规范》GB 50646
《生活饮用水标准检验方法 感官性状和物理指标》GB/T 5750.4
《电子级水电阻率的测试方法》GB/T 11446.4
《电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法》GB/T 11446.5
《电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法》GB/T 11446.6
《电子级水中痕量氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的离子色谱测试方法》GB/T 11446.7
《电子级水中总有机碳的测试方法》GB/T 11446.8
《电子级水中微粒的仪器测试方法》GB/T 11446.9
《电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法》GB/T 11446.10
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